EDS（Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy）能谱分析是一种与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）联用的元素分析技术。
简单来说，凡是固体、干燥、无挥发性的，并且能放入电镜样品室的材料，基本上都可以进行EDS分析。 它主要用于元素的定性和半定量分析，能够告诉我们样品中“有什么元素”以及“大概有多少”。
一、工作原理：
高能电子束或X射线照射样品，激发样品原子的内层电子
被激发的电子产生空位，外层电子跃迁填补空位
跃迁过程中释放出具有特定能量的特征X射线（如铁的特征X射线能量约为6.4keV，氧约为0.5keV）
通过探测器检测X射线的能量和强度，确定元素种类及相对含量
二、EDS能谱分析的主要功能
元素定性分析：通过测量特征X射线能量确定样品中存在的元素种类（可分析元素周期表中B-U的元素）
元素定量分析：通过测量特征X射线强度计算各元素的相对含量
微区成分分析：配合扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)使用，可对样品表面微区进行成分分析
元素分布成像：提供样品中元素的二维分布信息
注：EDS只能测元素种类和含量，不能做化合物结构和种类的判定
三、EDS能谱分析的应用领域
| 应用邻域 | 具体应用场景 |
| 材料科学 | 合金成分分析、半导体材料掺杂检测、材料微观结构分析 |
| 地质矿物 | 岩石矿物成分分析、微量元素分布研究 |
| 环境科学 | 重金属污染物检测、环境样品分析 |
| 生物医学 | 生物组织元素分析、临床医学研究 |
| 工业检测 | 产品质量控制、失效分析 |